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GAS02系列

GAS02系列

型号规格:GAS02系列
主体材料:
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产品描述
★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构 
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现 
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用 
★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度 
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能 
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

型号

工作台面尺寸 (mm)

基座尺寸 (mm)

行程 (mm)

角度(θ)

水平负载能力 (kgf)

反复定位精度(um)

GAS02-400CC

400x400

500x500

±10x±10

±3.5°

105

UP:±1 
P:±5

GAS02-400RS

400x400

500x500

±10x±10

±3.5°

130

UP:±1 
P:±5

GAS02-500CC

500x500

600x600

±10x±10

±2.5°

105

UP:±1 
P:±5

GAS02-500RS

500x500

600x600

±10x±10

±2.5°

130

UP:±1 
P:±5

GAS02-750CC

750x750

850x850

±10x±10

±1.5°

105

UP:±1 
P:±5

GAS02-750RS

750x750

850x850

±10x±10

±1.5°

130

UP:±1 
P:±5

 

特性介绍
  

♦ 採用了划时代性模组结构的超薄型平台

在基座、工作台之间的四端平面装上组合了MINI STAGE XYθ轴滑台组和特殊交叉滚柱轴承的模组之独特性,实现了超薄型结构。

♦ 高刚性、高精度

对于构成模组的MINI STAGE XYθ轴滑台组的特殊交叉滚柱施加了预压,达到高精度、高刚性的结构。

♦ 超薄型、轻量化、中空结构

採用XYθ模组化结构,实现了无中座、薄而轻的机构,可作为光学式检查装置或导通测试时使用。

♦ 润滑系统

在各种运动轨道加入润滑系统,确保润滑脂补充,提高对位平台使用的寿命及精度。

♦ 尺寸齐全 适用各种机型运用

工作台面尺寸口100mm~口1500mm,为了可以对应更大的精度荷载,可藉由增加从动模组之数量来达成。

 

 

 

产业应用介绍

♦  面板貼合機

♦  面板貼膜機

♦  網版及3D網版印刷

♦  玻璃側角及磨邊設備

♦  Wafe對位設備

♦  P.C.D曝光設備

♦  軟體裁切設備

♦  半導體設備

 

結構說明

 

动作原理