高精密电动二维位移台激光干涉测量方法

实验光路

1 .接通电源，等待激光1迅速发光，光强度稳定。 2 .打开驱动电源开关。

检查CMOS23的电信号是否点亮。

4 .光路调整时拆下反射镜4、13后，使激光扩散。

移动到反射镜4、13，不扩散激光。 注:以下所有实验的开始步骤与通用部分相同

高精密电动二维位移台本实验步骤

 1 .扩展

2 .在组合工作台16、18上分别安装平面镜，调整工作台16、18进行调平，以使2路反射光经常重叠(在成像物镜20后焦点面，两反射光聚光的焦点重叠)

3 .打开电脑，微调舞台上的千分尺，显示屏上就会看到干涉条纹

调整CMOS在轨道上的位置，使干涉条纹清晰，锁定23，进一步调整可调光圈22的开口位置，过滤分光器的寄生干涉光5 .测量程序的操作参见软件的操作说明书。

可见初期电压范围内的移动距离和电压呈线性关系是符合理论的。 此时，如果电压变化到150V以后，则可能是记录数据错误的原因。 另外，在实验中，有时也会因与设备本身的原因而发生条纹移动。 其次，也可能会因实验中的微小振动而将干涉条纹的变化进行计数。 但是，我们可以根据前几组数据客观地反应位移量和电压的系统。

考试问题

1 .干涉测量的好处是什么？ 写几个你知道的应用场景。

答:干涉测量技术多为非接触测量，具有高测量灵敏度、高精度、高转换增益、良好的滤波性能、良好的空间和偏振鉴别能力。 干涉测量的应用范围非常广泛，可以用于位移、长度、面形状、介质折射率的变化、振动等的测量。 2 .干涉测量采用激光的好处是什么？

答:选择激光作为光源。 激光单色性强，方向性高，干涉效果好，测量精度高，能得到清晰明亮的干涉条纹。

3 .干涉条纹的间隔大小对测量有什么影响？ 应该怎么取值呢？

答:由于实验是通过条纹强度的测量来实现微小位移量变化的测量，因此条纹间隔不会影响测量结果。 但是，为了便于观察，实验时必须选择适当的条纹间隔进行测量。 实验调节干涉条纹，必须考虑条纹足够粗和对比度明亮暗淡两个方面。

4 .一般的干扰测量有什么不足吗？ 如何改善？

答:由于环境因素的影响很大，实验时必须避免使试验台振动，同时避免外部光源对激光束的影响。 在有防振装置的实验台进行实验，同时调节实验光路后，最好用不透光的外罩遮挡实验光路。

通过实验掌握了激光干涉测量微小位移量的原理和方法，同时掌握了微米和亚微米

米级位移量的激光干涉测量方法，了解了激光干涉测量方法的优点和应用情况，对干涉测量法有了深入的认识。 通过这次实验不仅增加了我的理论知识，同时也锻炼了我的动手能力和解决问题的能力。