XXY精密对位平台模块
行程 : ±15x±5、±12x±12、±15x±15 (mm)
机械作动原理-中央/侧边传动-标准型、高刚性型-驱动/从动模块
★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
型號 | 行程 (mm) | 水平负载能力 (mm) |
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±15x±5 | 325 |
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±15x±5 | 325 |
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±15x±15 | 402 |
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±12x±12 | 402 |
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±15x±15 | 625 |
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±15x±15 | 625 |