XXY精密对位平台
台面尺寸 : 100、160、190、200、250 (mm)
基座尺寸 : 120、170、210、350 (mm)
机械作动原理-中央传动-标准型、轻量型、重载型
★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量