对位平台
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GAS03 系列
- 型号规格:GAS03 系列
- 主体材料:
产品描述
XXY精密对位平台
台面尺寸 : 1000、1500 (mm)
基座尺寸 : 1200、1700 (mm)
机械作动原理-中央/侧边传动-标准型、高刚性型
★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
型号 |
工作台面尺寸 (mm) |
基座尺寸 (mm) |
行程 (mm) |
水平负载能力 (kgf) |
GAS03-1000RC |
1000x1000 |
1200x1200 |
±15x±15 |
200 |
GAS03-1000RS |
1000x1000 |
1200x1200 |
±15x±15 |
200 |
GAS03-1500CC |
1000x1000 |
1200x1200 |
±15x±15 |
160 |
GAS03-1500RC |
1500x1500 |
1700x1700 |
±15x±15 |
200 |
GAS03-1500RS |
1500x1500 |
1700x1700 |
±15x±15 |
200 |
GAS03-1500CC |
1500x1500 |
1700x1700 |
±15x±15 |
160 |